メガソーラー
2013-10-03 16:14:37 [ メガソーラーニュース ]
http://www.nikkan.co.jp/newrls/rls20130930o-03.html
ギガフォトンは、環境にも配慮した高効率・高出力で安定したEUV光源を低コストで実現するため、ダブルパルス・レーザープロデューストプ ラズマ(LPP)方式、超電導磁石を使ったデブリ除去技術等、ユニークな独自技術によるEUV光源開発に取り組んでいます。 EUV光源では、すず(Sn)ターゲット(ドロップレット)に対し、ドラ ... [続きを読む] 
