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2013-09-30 09:21:03 [ メガソーラーニュース ]
ギガフォトン、EUV露光用光源向けドライバーCO2レーザーを開発 | 財経新聞
http://www.zaikei.co.jp/releases/127148/
ギガフォトンは、環境にも配慮した高効率・高出力で安定したEUV光源を低コストで実現するため、ダブルパルス・レーザープロデューストプラズマ(LPP)方式、超電導磁石を使ったデブリ除去技術等、ユニークな独自技術によるEUV光源開発に取り組んでいます。 EUV光源では、すず(Sn)ターゲット(ドロップレット)に対し、ドライ ...  [続きを読む]
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