メガソーラー
2013-03-27 16:02:23 [ メガソーラーニュース ]
http://www.aist.go.jp/aist_j/press_release/pr2013/pr20130327/pr20130327.html
... る金属薄膜の平滑性が悪く、電気・光学特性に悪い影響を及ぼすといった問題がある。また、金属薄膜に配線などのパターンを形成するには、基材全面に金属めっき膜を作製後、フォトレジストによりマスクパターンを膜上に作製して、金属薄膜をエッチングすることにより行われており、表面粗化工程と同様に、環境負荷が ... [続きを読む] 
