メガソーラー
2013-02-19 12:24:17 [ メガソーラーニュース ]
http://www.pronweb.tv/release.php?code=7849
又、マルチパターニング露光においてより重要となる、高いパターン重ね合わせ精度(オーバーレィ)の実現、クリティカルディメンジョンの制御、そしてラインエッジラフネスの低減のため、全出力領域に渡り、高い安定性(エネルギ、スペクトル、ビーム形状)と長いパルス幅を達成しています。更に、開発コンセプトを「環境負荷低 ... [続きを読む] 
